通過昨天的文章，我們知道了磁流變拋光液對(duì)磁流變拋光的重要性，今天我們來(lái)了解一下其工作機(jī)理。

磁流變拋光液是由微米級(jí)磁敏顆粒（如羰基鐵粉）和納米級(jí)拋光粉顆粒均勻分散在基液中形成的一種復(fù)雜的多相磁性膠體（magneticcolloids）。通常會(huì)在基液中加入一些為改善懸浮液性能的添加劑，包括增強(qiáng)磁流變效應(yīng)的表面活性劑、防止顆粒團(tuán)聚的分散劑等。

研究表明，微米級(jí)磁流變液(MR)比納米級(jí)(~10nm)鐵磁流體(ferrofluids)的磁流變效應(yīng)明顯。原因是納米鐵磁流體中的顆粒是單疇磁性粒子，在高磁場(chǎng)環(huán)境下粘度改變很小，產(chǎn)生的剪切應(yīng)力也較小；磁流變液中微米級(jí)顆粒為多疇磁性顆粒，具有較高的飽和磁化強(qiáng)度，磁場(chǎng)作用下顆粒之間有很強(qiáng)的相互作用，有利于成鏈。

如下圖a所示，在磁流變拋光過程中，由循環(huán)泵把磁流變拋光液輸運(yùn)到拋光區(qū)域，在進(jìn)入拋光區(qū)域的時(shí)候，高梯度磁場(chǎng)使得磁流變拋光液發(fā)生磁流變效應(yīng)，在拋光區(qū)由液體變化為類固體（下圖b），這種類固體的緞帶是一種柔性拋光模，通過拋光粉顆粒復(fù)雜的機(jī)械和化學(xué)耦合作用實(shí)現(xiàn)材料的表面去除。

磁流變拋光液中顆粒尤其是拋光粉顆粒的充分分散直接關(guān)系著其有效使用，但是過多的添加劑會(huì)影響磁性顆粒在磁場(chǎng)作用下的成鏈。微納顆粒的分散既要滿足其充分分散所具有的熱力學(xué)條件也要滿足其動(dòng)力學(xué)條件。充分分散的熱力學(xué)條件是增加能量勢(shì)壘高度、降低勢(shì)阱，一般通過控制顆粒大小和表面電勢(shì)實(shí)現(xiàn)；其動(dòng)力學(xué)條件是通過物理或者化學(xué)手段提供充分分散的能量。為達(dá)到較好的分散效果，通常利用物理手段進(jìn)行預(yù)分散，再通過化學(xué)手段實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定化。

目前，雙相顆粒的分散及表征、流變行為及顆粒受力、磁流變拋光液與材料表面的作用機(jī)理是磁流變拋光液的研究重點(diǎn)。

卓精藝磁流變拋光液，具有無(wú)毒、無(wú)害、無(wú)揮發(fā)、穩(wěn)定性好的特性，可用于單晶硅、多晶硅等晶體材料和碳化硅、陶瓷、藍(lán)寶石等硬脆材料的磁流變修形拋光。如果您對(duì)我們感興趣，歡迎來(lái)電咨詢！