產(chǎn)品介紹
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適用材料石英、微晶、ULE、BK7、單晶硅、碳化硅、藍(lán)寶石、硫化鋅等；
適用形狀平面、球面的精密研磨和拋光；
加工精度納米精度加工，RMS 1/100λ(λ=632.8nm)；
表面粗糙度優(yōu)于0.5nm RMS；
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
磁流變拋光機(jī)床床身厚重，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、牢靠、平整性好、穩(wěn)定性好；主軸、擺軸運(yùn)轉(zhuǎn)順滑平穩(wěn)，穩(wěn)定性和精度高，震動(dòng)微小；高穩(wěn)定拋光，超高表面質(zhì)量，加工效率和成品率高。
技術(shù)參數(shù)
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項(xiàng)目 |
ZJY-NCM-600 |
ZJY-NCM-800 |
ZJY-NCM-1000 |
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運(yùn)動(dòng)軸數(shù) |
X/Y/Z/A/B六軸六聯(lián)動(dòng) （根據(jù)客戶需求，三軸、五軸、六軸可選） |
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加工空間 |
500×600×240mm |
700×800×300mm |
1000×800×350mm |
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驅(qū)動(dòng)形式 |
伺服電機(jī)、直線導(dǎo)軌 |
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重復(fù)定位精度 |
X/Y/Z 優(yōu)于±5μm A/B ± 20" |
X/Y/Z 優(yōu)于±5μm A/B/± 20" |
X/Y/Z 優(yōu)于±10μm A/B ± 20" |
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最大運(yùn)動(dòng)速度 |
X/Y/Z6000mm/min A/B/C 20rpm |
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拋光輪尺寸 |
50mm/100mm/200mm |
100mm/200mm/340mm |
200mm/340mm |
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拋光輪最大轉(zhuǎn)速 |
750rpm/300rpm |
750rpm/300rpm/200rpm |
300rpm/200rpm |
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拋光輪最大跳動(dòng) |
3μm /5μm/8μm |
5μm/8μm/20μm |
8μm/20μm |
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流量循環(huán)穩(wěn)定性 |
2%(4h) |
2%(4h) |
2%(5h) |
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粘度循環(huán)穩(wěn)定性 |
0.5%(4h) |
0.5%(4h) |
0.5%(4h) |
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去除函數(shù)穩(wěn)定性 |
2%(4h) |
2%(4h) |
2%(5h) |
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加工精度 |
批量生產(chǎn)水平：優(yōu)于1/70λ (λ=632.8nm) RMS |
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加工案例
