導語：隨著加工確定性更高的磁流變、離子束等拋光技術引入到光學加工領域，極大的提升了光學加工的確定性和準確性。今天我們重點來看下離子束拋光技術。

離子束拋光

隨著科學技術發(fā)展進步，光學加工的手段不斷演化。光學表面的加工方法從范成法、修帶法、應力加工法等效率低、精度差的傳統(tǒng)方法，發(fā)展到基于計算機技術與激光干涉技術的計算機表面成形技術，光學加工效率與加工精度得到了大幅度提升。加工確定性更高的離子束拋光法也被引入到光學加工領域中，進一步提升了光學加工的確定性和準確性。

離子束拋光法由Wilson和Reicher等人首先于1988年提出，是一種從原理上區(qū)別于傳統(tǒng)光學加工方法的技術手段。物理上把物質存在的狀態(tài)劃分為固體、液體和氣體，物質可以通過吸收或釋放能量在三種狀態(tài)中相互轉化。當物質處于氣體狀態(tài)后若進一步吸收能量則可以被激發(fā)成為等離子體，因此等離子體又被稱為物質的第四種狀態(tài)。離子束拋光法利用了物質的第四種狀態(tài)，即等離子體實現(xiàn)材料去除。

-離子束拋光原理示意圖-

離子束拋光機

離子束拋光對于光學加工領域是一個關鍵突破，實現(xiàn)了從接觸式材料去除到非接觸式材料去除的跨域，從原理上能夠實現(xiàn)原子量級的材料去除，為光學加工帶來了新的可能與應用。

美國Kodak公司于20世紀80年代開始進行離子束拋光的相關研究，并自行組建了具有2500mm口徑加工能力的離子束拋光機。這也是報道中的離子束拋光第一次用于大口徑離軸非球面的加工，對于離子束拋光法在光學加工領域中的應用具有重要意義。

德國NTG公司與德國IOM研究所合作推出的離子束拋光機同樣具有非球面光學元件的拋光能力，該公司推出的離子束拋光機最大加工口徑達到2000mm。

-離子束拋光去除函數(shù)示意圖-

除了用于普通成像系統(tǒng)的鏡面拋光外，離子束拋光也被應用到對加工精度具有更高要求的光刻機物鏡系統(tǒng)的精密拋光過程中，德國Zeiss公司通過調整離子束拋光去除函數(shù)的尺寸與離子能量等參數(shù)，準確控制去除精度，實現(xiàn)了極紫外光刻物鏡的拋光，并取得理想效果。

與此同時，國內的離子束拋光機研發(fā)也取得了不錯的進展。卓精藝聯(lián)合工匠實創(chuàng)自主研發(fā)的離子束拋光機，具有非接觸、亞納米材料去除分辨率、高穩(wěn)定性、自由曲面加工等技術特色，同時還具有更低濺射污染、更低使用成本、更高生產(chǎn)效率、更加智能化等優(yōu)勢。

-提供離子束拋光機成套設備和工藝軟件-

卓精藝，專注于提供前沿性的高品質超精密光學智能拋光裝備制造（小磨頭、磁流變、離子束、超光滑）、光學材料、光機電定制產(chǎn)品、高精度復雜光學元件加工制造與檢測、先進工藝技術方案及轉讓、國際技術合作等服務，服務于國防、安防、科研等應用領域，為客戶提供中高端光學系統(tǒng)的產(chǎn)品和解決方案。如果您對我們感興趣，歡迎來電咨詢！