之前的文章，我們介紹過光學(xué)自由曲面的定義和特點，今天我們來看自由曲面光學(xué)元件的超精密制造。

-自由曲面之超環(huán)面-

傳統(tǒng)的光學(xué)磨制方法無法加工高精度的非球面與自由曲面面形，必須突破古典光學(xué)傳統(tǒng)加工方法，自由曲面光學(xué)元件超精密加工就是在這樣的形勢下應(yīng)運而生的一種新型技術(shù)。

這種新型技術(shù)采用先進(jìn)的單點金剛石切削及超精密數(shù)控制造技術(shù)進(jìn)行加工。

細(xì)觀塑性力學(xué)理論模型成功地運用到超精密加工技術(shù)上，用于分析晶體材料剪切角的形成及微切削力的變化周期；從而建立超精密加工的納米級三維表面形貌仿真模型，并用于超精密加工虛擬制造；工藝流程仿真及工藝優(yōu)化。

此外，自由曲面光學(xué)元件的超精密加工，開發(fā)了一套自由曲面刀具軌跡自動生成系統(tǒng)，可直接用于加工微透鏡、V溝槽結(jié)構(gòu)、漸進(jìn)式眼鏡、自由曲面車燈反光鏡等，只需要輸入基本參數(shù)，可自動生成刀具軌跡，而無需再花大量時間編寫程序，大大縮短了加工周期。

另外，自由曲面光學(xué)元件的超精密加工的表面測量方也向前跨前了一大步，創(chuàng)新地采用了邊緣光線擴(kuò)展度守恒的原理，開發(fā)了一套自由曲面控制網(wǎng)格的節(jié)點矢量的精確計算方法。

光學(xué)自由曲面是非軸對稱、不規(guī)則、隨意構(gòu)造的曲面，其形狀比較復(fù)雜，精度要求很高，傳統(tǒng)的加工設(shè)備和加工技術(shù)很難滿足其加工要求。

隨著金剛石車、銑、磨、削集成的多軸超精密機(jī)床的發(fā)展，給自由曲面光學(xué)組件以及微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件的加工提供了先進(jìn)的制造設(shè)備，可以加工具有非軸對稱的復(fù)雜光學(xué)自由曲面。

這其中的代表就是磁流變拋光機(jī)。

卓精藝磁流變拋光機(jī)，可對平面、球面、二次曲面、高次非球面、自由曲面等各種面型實現(xiàn)超光滑、超精密拋光，加工精度：納米精度加工，RMS 1/100λ(λ=632.8nm)；表面粗糙度：優(yōu)于0.5nm RMS；適用材料：對石英、微晶、ULE、BK7、單晶硅、碳化硅、藍(lán)寶石、硫化鋅等。如果您對我們感興趣，歡迎來電咨詢！

-卓精藝磁流變拋光機(jī)-