光學零件加工技術的重要性

現(xiàn)代光學零件具有大口徑、 (亞) 納米精度、 形狀復雜、表面低損傷等特點，在空間觀測、微電子制造、慣約聚變、同步輻射等重大光學工程中有著廣泛應用，其制造水平直接影響國家的核心競爭力。

光學零件高端加工技術和裝備被美國等西方發(fā)達國家視為戰(zhàn)略資源，嚴格限制出口。因此，光學零件納米精度加工技術，對提升國家核心競爭力具有重要的戰(zhàn)略意義。

光學零件納米精度加工的難點

光學表面納米精度加工被譽為超精密加工技術皇冠上的明珠，是公認的世界性難題，主要表現(xiàn)為：納米精度要求穩(wěn)定實現(xiàn)亞納米量級的材料去除；復雜形狀引起材料去除率的變化，要求實現(xiàn)有效補償；全頻段誤差和加工缺陷影響光學性能，要求實現(xiàn)一致收斂和去除。

由于長期以來光學加工采用基于經驗的加工方法，具有很強的不確定，難以解決現(xiàn)代光學零件加工的瓶頸。

可控柔體確定拋光技術

基于磁流變、離子束等拋光技術的光學零件可控柔體確定拋光技術，以提高光學加工的可控性為目標，采用可適應面形變化的柔性介質作為拋光工具，可以實現(xiàn)光學零件的高精度、高效率和低損傷加工，其加工精度可以達到納米級和亞納米級。

-離軸拋物鏡磁流變加工-

磁流變拋光技術是20世紀80年代國外發(fā)展起來的一種新興的高端光學制造技術，利用磁流變液在磁場中的流變性對工件進行拋光，其加工精度非常高，是未來超光滑表面加工技術的發(fā)展方向。

離子束拋光技術對于光學加工領域是一個關鍵突破，實現(xiàn)了從接觸式材料去除到非接觸式材料去除的跨域，從原理上能夠實現(xiàn)原子量級的材料去除，為光學加工帶來了新的可能與應用。

-離子束技術可對藍寶石元件進行高精度修形-

-亞納米超高精度（rms0.239nm）-

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