納米是一個(gè)長(zhǎng)度單位，跟我們?nèi)粘Ｉ钪薪佑|到的厘米、米、千米等長(zhǎng)度單位不同，納米精度通常代表著當(dāng)前的頂尖技術(shù)。今天卓精藝就來(lái)為大家介紹這種技術(shù)。

納米精度光學(xué)表面這個(gè)詞普通人可能了解不多，但在光刻技術(shù)、同步輻射、空間觀測(cè)和慣約聚變等高精尖領(lǐng)域它有著重大需求。

隨著裝備性能需求的不斷提升，這些光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光學(xué)零件面形精度和表面質(zhì)量的要求幾乎接近于物理極限，對(duì)光學(xué)制造技術(shù)提出了更高挑戰(zhàn)，使光學(xué)制造成為納米制造技術(shù)的發(fā)展前沿。

現(xiàn)代光學(xué)零件具有大口徑、(亞)納米精度、形狀復(fù)雜、表面低損傷等特點(diǎn)，在空間觀測(cè)、微電子制造、慣約聚變、同步輻射等重大光學(xué)工程中有著廣泛應(yīng)用，其制造水平直接影響國(guó)家的核心競(jìng)爭(zhēng)力。光學(xué)零件高端加工技術(shù)和裝備也被美國(guó)等西方發(fā)達(dá)國(guó)家視為戰(zhàn)略資源，嚴(yán)格限制出口。

光學(xué)表面納米精度加工被譽(yù)為超精密加工技術(shù)皇冠上的明珠，也是公認(rèn)的世界性難題，主要表現(xiàn)為：

納米精度要求穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)亞納米量級(jí)的材料去除；

復(fù)雜形狀引起材料去除率的變化，要求實(shí)現(xiàn)有效補(bǔ)償；

全頻段誤差和加工缺陷影響光學(xué)性能，要求實(shí)現(xiàn)一致收斂和去除。

-鏡面加工的鬼影誤差-

由于長(zhǎng)期以來(lái)光學(xué)加工采用基于經(jīng)驗(yàn)的加工方法，具有很強(qiáng)的不確定，難以解決現(xiàn)代光學(xué)零件加工的瓶頸。

基于磁流變、離子束等拋光技術(shù)的光學(xué)零件可控柔體拋光技術(shù)，以提高光學(xué)加工的可控性為目標(biāo)，采用可適應(yīng)面形變化的柔性介質(zhì)作為拋光工具，可以實(shí)現(xiàn)光學(xué)零件的高精度、高效率和低損傷加工，為納米精度光學(xué)表面制造提供技術(shù)支持，是解決(亞) 納米精度、大尺度精度比、低損傷表面和復(fù)雜曲面等光學(xué)制造難題的有效制造方法。

-卓精藝磁流變拋光機(jī)，加工精度：納米精度加工，RMS 1/100λ(λ=632.8nm)-

-離子束拋光機(jī)，加工精度：納米精度加工，RMS 1/600λ(λ=632.8nm)-

卓精藝，專注于提供前沿性的高品質(zhì)超精密光學(xué)智能拋光裝備制造、光學(xué)材料、光機(jī)電定制產(chǎn)品、高精度復(fù)雜光學(xué)元件加工制造與檢測(cè)、先進(jìn)工藝技術(shù)方案及轉(zhuǎn)讓、國(guó)際技術(shù)合作等服務(wù)，服務(wù)于國(guó)防、安防、科研等應(yīng)用領(lǐng)域，為客戶提供中高端光學(xué)系統(tǒng)的產(chǎn)品和解決方案。如果您對(duì)我們感興趣，歡迎來(lái)電咨詢！