隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，人們對光學(xué)元件加工提出了越來越高的要求，而光學(xué)元件表面缺陷直接影響著整個元件的性能和質(zhì)量。

所謂的光學(xué)元件表面缺陷，主要是指表面疵病和表面污染物。表面疵病是指拋光加工后的光學(xué)元件表面依然存在的麻點(diǎn)、劃痕、開口氣泡、破邊、破點(diǎn)等各種加工缺陷，產(chǎn)生的原因主要是加工過程或后續(xù)的不當(dāng)操作。

-四種疵病的大致形狀-

1、劃痕

指光學(xué)元件表面長條形的劃傷痕跡。由劃痕長度的不同，可以分為長劃痕和短劃痕，以2 mm為界限，若劃痕長度大于2 mm屬于長劃痕，小于2 mm則是短劃痕。對于短劃痕，評價標(biāo)準(zhǔn)是其檢測時的累積長度。相對而言，劃痕較麻點(diǎn)等缺陷更容易檢測出。

2、麻點(diǎn)

指光學(xué)元件表面上的陷坑、蝕坑、疵點(diǎn)，其坑內(nèi)的表面粗糙度較大，寬度與深度大致相同，邊緣也不規(guī)則。一般情況下，規(guī)定長寬比大于4:1的缺陷為劃痕，反之小于4:1的缺陷為麻點(diǎn)。

3、氣泡

是由光學(xué)元件的生產(chǎn)或加工過程中未及時排除的氣體所形成的，由于各方向氣體的壓力均勻分布，所以氣泡的形狀一般呈圓球形。

4、破邊

是指出現(xiàn)在光學(xué)元件邊緣的疵病，雖然處于光源有效區(qū)域之外，但是也屬于光的散射源，對光學(xué)性能也會產(chǎn)生一定的影響，所以也屬于疵病范疇。

由于光學(xué)元件表面質(zhì)量的好壞直接影響整個光學(xué)系統(tǒng)的性能，因而光學(xué)元件表面面形誤差和表面粗糙度也成為光學(xué)元件加工領(lǐng)域關(guān)注的兩大重要指標(biāo)。

而小磨頭、磁流變、離子束等確定性拋光技術(shù)的誕生，可以精確微量確定性去除、高效率獲得數(shù)十納米以下高精度面形、納米級表面質(zhì)量且近無亞表面缺陷，很好地滿足光學(xué)元件的超精密加工需求。

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