經(jīng)常聽說離子束拋光機(jī)這種超精密加工設(shè)備，那么你知道這種技術(shù)的工作原理與主要特點(diǎn)嗎？跟著卓精藝小編來(lái)一起了解下。

離子束加工的基本原理

所謂離子束拋光，就是把惰性氣體氬、氮等放在真空瓶中，用高頻電磁振蕩或放電等方法對(duì)陰極電流加熱，使之電離成為正離子，再用5千至10萬(wàn)伏高電壓對(duì)這些正離子加速，使它們具有一定的能量。利用電子透鏡聚焦，將它們聚焦成一細(xì)束，形成高能量密度離子流，在計(jì)算機(jī)的控制下轟擊放在真空室經(jīng)過精磨的工件表面，從其表面把工件物質(zhì)一個(gè)原子一個(gè)原子地濺射掉。

-離子束加工的基本原理-

可見，離子束加工的原理和電子束加工基本類似，也是在真空條件下，將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過加速聚焦，使之撞擊到工件表面。用這種方法可對(duì)工件表面進(jìn)行深度從100埃到10微米左右的精密加工。

離子束的加工裝置主要由包括離子源、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源等。

離子束加工的主要特點(diǎn)

離子束加工是目前比較高端的超精密加工技術(shù)，具有以下特點(diǎn)：

1、屬于原子級(jí)逐層去除加工，加工精度高。

2、非接觸式加工，不會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力和變形。

3、加工速度很快，能量使用率可高達(dá)90%。

4、加工過程可自動(dòng)化。

5、在真空腔中進(jìn)行，污染少，材料加工表面不氧化。

6、電子束加工需要一整套專用設(shè)備和真空系統(tǒng)，價(jià)格較貴。

-離子束拋光機(jī)-

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