上一篇文章我們介紹了離子束拋光的去除函數(shù)，今天卓精藝帶大家來看看具體的驗證實驗。

驗證實驗

采用K9、熔石英玻璃開展了多次面形實驗，平均收斂率達50%以上，體現(xiàn)了離子束拋光確定性高、快速收斂的優(yōu)點。其中，φ170 mm的石英試件兩次加工后，88%(φ150 mm)范圍內(nèi)，PV值從0.1372(1=632.8 nm)收斂到0.0292, RMS值從0.0282收斂到0.0052,收斂效果顯著，如下圖所示。

-φ170 mm石英玻璃加工前后面形精度比較-

59%(φ100 mm)范圍內(nèi)，PV值從0.0542收斂到0.0162 (<1V62) ，RMS值從0.0142收斂到0.0022,達到了課題標的要求。粗糙度(R)方面，通過多次正交實驗，研究了入射角、束壓、束流、氬氣流量對粗糙度的影響規(guī)律。對φ50 mm的石英試件進行粗糙度修整加工后，R。值從1.353 nm減小到0.545 nm，如下圖所示。

-石英玻璃加工前后粗糙度-

總結展望

基于離子束濺射效應的離子束拋光技術，是超精密加工工藝體系中的重要一環(huán)。其利用惰性氣體電離形成的離子轟擊工件，產(chǎn)生特定的濺射現(xiàn)象，從而進行原子、分子加工單位的微量加工，相比其他CCOS拋光技術，具有加工單位小、無接觸應力、去除函數(shù)可控性強、無材料選擇性等突出優(yōu)點。

因此，離子束拋光技術在超精密光學加工領域，特別是ICF高功率固體激光系統(tǒng)所需大口徑輕薄光學元件的無邊緣效應高精度高效加工、光刻機透鏡組的超高精度加工等重大科學工程應用中具有舉足輕重的意義。

在后續(xù)的工作中，為了使該設備在光學元件的超精密超光滑加工領域中能夠有效、穩(wěn)定、可靠地得到工程化應用，將結合工藝實驗重點加強兩個方面的研究內(nèi)容:一是通過改進離子光學系統(tǒng)進一步優(yōu)化去除函數(shù)的形態(tài)及去除效率；二是優(yōu)化離子束拋光工藝參數(shù)并完善工藝軟件核心算法,進一步提升離子束拋光工藝精度和加工收斂速度。

-藍寶石離子束高精度修形-

卓精藝，專注于提供前沿性的高品質(zhì)超精密光學智能拋光裝備制造（小磨頭、磁流變、離子束、超光滑）、光學材料、光機電定制產(chǎn)品、高精度復雜光學元件加工制造與檢測、先進工藝技術方案及轉讓、國際技術合作等服務，服務于國防、安防、科研等應用領域，為客戶提供中高端光學系統(tǒng)的產(chǎn)品和解決方案。如果您對我們感興趣，歡迎來電咨詢！