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詳解超精密拋光新技術(shù)之三:3大非接觸式拋光

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瀏覽:- 發(fā)布日期:2022-04-15 15:26:21【

在了解了接觸式拋光之后,我們?cè)賮?lái)看看非接觸式拋光。

非接觸式拋光打破了用拋光工具接觸玻璃表面拋除的模式,采用了高能量密度束流進(jìn)行拋光,非接觸式拋光主要是指電子束拋光、激光拋光和離子束拋光。

離子束加工光學(xué)元件

-離子束加工光學(xué)元件-

電子束拋光是利用高速的電子束經(jīng)聚集線(xiàn)圈和偏轉(zhuǎn)線(xiàn)圈后進(jìn)入玻璃表面一定深度,與表面成分中原子核和電子發(fā)生相互作用,其能量傳遞主要通過(guò)電子與玻璃表面層成分中原子碰撞,所傳遞 能量以熱能的形式傳遞給表面原子,使玻璃表面溫度迅速升高,達(dá)到軟化點(diǎn)以上熔融溫度,由于表面張力作用形成自由表面,達(dá)到拋光目的。

激光拋光是利用高能量密度激光束輻照玻璃,導(dǎo)致玻璃表面瞬時(shí)熔融,由于熔融玻璃表面張力作用,使表面光滑平坦。為了防止玻璃表面冷卻過(guò)快產(chǎn)生永久應(yīng)力,還需要采用微波加熱。激光波長(zhǎng)為10.6^m易被玻璃吸收,激光器功率為200W,束斑直徑8mm。輔助加熱用微波功率2kW,頻率2.45GHz。用紅外溫度計(jì)測(cè)量玻璃表面和玻璃體內(nèi)溫度。

離子束拋光是將惰性氣體如Ar、Kr、Xe及N原子在真空度為1.33Pa條件下用高頻或放電等 方法使其成為離子,再用20?25KeV的電壓加速,然后撞擊到放在真空度為1.33x10_3 Pa真空室的玻璃表面,從而使玻璃以原子級(jí)被去除。2012年,國(guó)防科技大學(xué)打破國(guó)外技術(shù)封鎖,自主成功研制了離子束拋光裝備,創(chuàng)造了光學(xué)零件加工的納米精度。離子束拋光是非接觸式拋光技術(shù)的發(fā)展方向。

離子束拋光機(jī)

-離子束拋光機(jī)-

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